般的振動時效激振頻率在200Hz 以內，而高頻微觀激振時效指的是采用高頻機械振動信號（頻率大于1kHz)激勵構件，使構件晶體發生“局部微觀 共振”（即微觀晶粒或亞晶意義上的共振)，以此讓因位錯而處于亞穩定狀態的晶粒獲得能量而劇烈運動，克服周圍晶粒束縛回到原先更加穩定低能的平衡位置上， 從而使構件內部微觀位錯減少，削弱或消除宏觀殘余應力，實現振動時效的意義與目的。
該工藝的優點是：
傳統振動時效機理是由于周期性振動輸入，金屬位錯發生滑移使晶體微觀塑形變形，內部應力場改變，使殘余應力得以重新分布，峰值下降。因位錯塞積 開通、滑動容易使晶粒破碎形成亞晶界，這一過程將導致位錯密度升高，由此提高金屬的臨界切應力，從而使余下位錯不再易滑動，工件尺寸穩定。
而高頻振動時效與此不同，其高階共振機理使得位錯密度減小，晶粒本身回到幾乎無應力的原始狀態，消除殘余應力效果更明顯，也將獲得更加可靠的尺 寸穩定性；同時，根據機械振動模態分析理論，物體的高階模態比低階模態振型具有更多的節點及峰值與谷值。高頻激振激發出的晶粒高階模態，使得金屬材料在整 體上能量均勻分布，內應力也更加均化；再者，高頻激振時效是一種微觀激振，對于構件來說，振幅小，產生的宏觀變形量也極小，不易導致因時效處理帶來的工件 破壞與損傷；此外，高頻激振裝置一般體積較小，不僅便于處理大型構件的微小結構處，更加能夠適用于微型構件，使得振動時效技術的應用面得以拓展。
高頻激振時效設備的研發在我國起步較晚，但也已形成了一些技術成熟產品。總的來看，應用形式主要集中于超聲時效技術，低于超聲波頻率范圍的高頻 激振時效應用并不多見。分析其原因，在于高頻激振時效的機理研究尚未做到量化程度，時效處理效果的判定尚無確切標準，加之超聲時效技術的突出優勢，使得一 般意義上的高頻振動時效難以獲得較大推廣空間。